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    拋光墊線上量測系統於修整性能分析與銅化學機械拋光之相關性研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 傅彥綺 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究透過自行開發與改良的彩色共軛焦量測系統進行修整製程中,拋光墊表面形貌的量測;此外透過拋光墊修整軌跡模擬軟體,評估拋光墊之修整均勻性。實驗方法為固定修整器轉速15, 40, 65rpm對於拋光盤…
    • 點閱:236下載:5

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    單點鑽石刀具近似正交切削軟韌彈性墊之研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 李奕廷 指導教授: 陳炤彰
    • 半導體為世上重大發明且與現代生活密不可分,隨著世代的進化變遷,不斷的追求微細化及線路層層堆疊而對於晶片的考驗也越來越嚴苛,全域平坦化表面將成為相當重要得關鍵技術。化學機械拋光/平坦化(Chemica…
    • 點閱:274下載:2
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